「PMS=Photo Metric Stereo」是從不同光源的陰影信息算出法線向量,並重新構成三次元形狀的算法。
在PMS檢查設備使用的就是該算法,並能檢查對象的凹凸部分。

設備形象

針對對象工件在弧形上移動光源使其順次點燈,因此可檢出膨脹與凹陷部分。

設備形象

硬體結構

胳膊移動型
變更照明的位置可對應于對品種,但需要胳膊的移動空間。
弓形照明型
固定式照明能省空間,但跟胳膊移動型比起來,可對應的品種有限。