通過利用【多輪廓形狀檢查】工具,可檢查對象的輪廓部分。抽出輪廓部分,作成掩膜影像。在缺陷檢查也能使用。
裝載了多坐標功能,也可讓簡單設定複數檢查。

抽出輪廓進行檢查

抽出輪廓進行檢查

<良品模板和缺陷部分的對比>

模板登記功能登記良品後與檢查對象物作比較。輪廓特徵不是點狀,而是以最小2乘法來計算出來的線狀。

抽出輪廓作成掩膜影像

把輪廓抽出部分作爲掩膜影像來進行輸出。掩膜部分可選擇輪廓的外側或內側。與通常的掩膜不同,是每執行時進行輪廓抽取的動態掩膜。除了掩膜影像的檢查,還能同時進行周邊長或缺陷面積等輪廓部分的檢查。

抽出輪廓作成掩膜影像

【多坐標】的複數檢查

利用【多坐標】功能,可同時進行複數檢查。

利用【多坐標】功能,可同時進行複數檢查。